Megazvuk
Při nižších ultrazvukových frekvencích vznikají poměrně velké bublinky, kterým odpovídají krátkodobé vysoké lokální tlaky a teploty např. při frekvenci 25kHz lokální tlaky dosahují hodnoty až 50MPa a lokální teploty hodnot vyšších než 5000°C. Tak vysoké tlaky a teploty mohou destruovat jemnější a křehčí struktury. Rovněž s ultrazvukem tzn. při frekvencích menších než 400kHz je možno odstraňovat nečistoty jen do velikosti maximálně 4μm; pro odstraňování menších částic až do nano oblasti je nutno použít megazvuk (frekvence 400kHz až 4MHz). Proto se pro dokonalé čištění takový jemných struktur zvyšují pracovní ultrazvukové frekvence.
Megazvuk nachází uplatnění
- v polovodičové technice, mikroelektronice
- při výrobě LIGA struktur, litografii, precisním pokovování
- při výrobě nejpreciznějších a nejkomplexnějších desek plošných spojů
- při zpracování monokrystalů
Nabízíme megazvuk německé firmy SONOSYS